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FPD装置产品目录中心

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玻璃基板

对应第8代玻璃基板FX-88S2

适用于第8代玻璃基板的高分辨率、、、高生产效率的FPD曝光装备

对应第8代玻璃基板FX-88S2

确认详细内容

分辨率(L/S) 1.5 ?m
波长 i-line
投影倍率 1:1
重合精度 ≦ ±0.30 ?m
尺寸 2,290 mm × 2,620 mm
节奏 39 s/plate
Conditions: 2,290 mm × 2,620 mm, 4 scans, i-line, 30 mJ/cm2

对应第8代玻璃基板FX-88SL/88SLD

适用于第8代玻璃基板，，，搭载UV-LED光源的高分辨率、、、高生产效率的次世代FPD曝光装备

对应第10.5代玻璃基板 FX-103SH/103S

确认详细内容

FX-88SL FX-88SLD
分辨率(L/S) 1.5 ?m 2.5 ?m
光源 UV-LED
波长 i线 i线和h线
投影倍率 1 : 1
重合精度 ≦ ±0.30 ?m
尺寸 2,290 mm ｘ 2,620 mm
节奏 39 s/plate
条件: 2,290 mm × 2,620 mm、、、4次扫描、、、i-line、、、30 mJ/cm2 		39 s/plate
条件: 2,290 mm × 2,620 mm、、、4次扫描、、、i-line+h-line、、、30 mJ/cm2

对应第10.5代玻璃基板 FX-103SH/103S

PDF: 1MB

对应第10.5代玻璃基板的高细腻大型面板制造的FPD曝光装备

对应第10.5代玻璃基板 FX-103SH/103S

确认详细内容

FX-103SH FX-103S
分辨率 （可切換） 2.2 μm (g + h + i-line) 3.0 μm (g + h + i-line)
投影倍率 1 : 1
重合精度 ≦ ± 0.5 μm
尺寸 2,940 mm x 3,370 mm
节奏 60 s / plate
条件:  2,940 mm x 3,370 mm, 4 scans, g + h + i-line, 30 mJ / cm2

对应第8代玻璃基板 FX-88S

PDF: 1MB

高重合精度和高精度，，，适用于第8代玻璃基板的1.5 ?m高分辨率FPD曝光装备

对应第8代玻璃基板 FX-88S

确认详细内容

分辨率 1.5 μm (i-line)
投影倍率 1 : 1
重合精度 ≦ ± 0.40 μm
尺寸 2,290 mm x 2,620 mm
节奏 47 s / plate
条件 : 2,200 mm x 2,500 mm, 4 scans, i-line, 30 mJ / cm2

对应第6代玻璃基板 FX-6AS

PDF: 1MB

适用于第6代玻璃基板
可实现高分辨率的最尖端高细腻中小型面板制造的FPD曝光装备

对应第6代玻璃基板 FX-6AS

确认详细内容

分辨率 1.0 μm (i-line)※
投影倍率 1 : 1
重合精度 ≦ ± 0.23 μm
尺寸 1,500 mm x 1,850 mm
节奏 42 s / plate
条件 : 1,500 mm x 1,850 mm, 4 scans, i-line, 30 mJ / cm2

※使用相移掩模时

对应第6代玻璃基板 FX-68SH/68S

PDF: 1MB

对应第6代玻璃基板
高效和1.2 ?m的高分辨率的
高细腻中小型面板制造的FPD曝光装备

对应第6代玻璃基板 FX-68SH/68S

确认详细内容

FX-68SH FX-68S
分辨率 1.2 μm (i-line)※ 1.5 μm (i-line)
投影倍率 1 : 1
重合精度 ≦ ± 0.27 μm
尺寸 1,500 mm x 1,850 mm
节奏 42 s / plate
条件 : 1,500 mm x 1,850 mm, 4 scans, i-line, 30 mJ / cm2

※使用相移掩模时

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X射线/CT系统

XT H 225和XT H 320

PDF: 10MB

多用途高分辨率微焦点CT检测系统，，，用于小型塑料毗连器及铝铸件等州部件的研发和失效剖析。

XT H 225和XT H 320

确认详细内容

最大能量 225 kV / 320 kV
X射线源 最小焦点 1 μm / 3 μm
最大CT扫描尺寸 280 mm / 300 mm
探测器 最大像素矩阵 2880 x 2880 / 2048 x 2048
最大帧速率 30 fps
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影像丈量仪

标准机型NEXIV VMZ-S

PDF: 6MB

高精度、、、高速率、、、利便易用的微米级坐标丈量。

标准机型NEXIV VMZ-S

确认详细内容

最大XYZ量程 650 x 550 x 200 mm
最小读数 0.01 μm
最大允许误差 EUX, MPE EUY, MPE 1.2 + 4 L / 1000 ?m
最大允许误差 EUXY, MPE 2.0 + 4 L / 1000 ?m
最大允许误差 EUZ, MPE 1.2 + 5 L / 1000 ?m
最大载重量 50 kg（精度包管: 30 kg）
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光学手动丈量

丈量显微镜

PDF: 13MB

银河浏览器Galaxy众多的？榛ノ，，，让您在设置切合使用目的的系统时享有更大的无邪性。

丈量显微镜
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工业显微镜

体式变焦显微镜

PDF: 17MB

包括正置和倒置两种类型的多种工业用显微镜，，，既有反射装用型，，，也有透反射两用型，，，用于对工业样品的高倍视察。

体式变焦显微镜
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